多晶硅石英坩埚的规定及其应用留意点
信息来源：本站 | 发布日期：
2019-10-31
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关键词：多晶硅石英坩埚规定
半导体材料级高纯度多晶硅
石英坩埚是拉制大直经单晶硅的消耗性容器，每生产制造一炉单晶硅就消耗掉一只钳锅。单晶硅是生产制造规模性集成电路芯片的原料，对钳锅的规定严苛。
一般国际上对多晶硅石英坩埚的规定：材料务必是高纯半导体材料级；耐热性强；钳锅的规格大；高精度；隔热保温特性好；节约资源；产品品质一致性好；可靠性高等学校特性。多晶硅石英坩埚在应用时要留意：
1．多晶硅石英坩埚可在1700度下列灼热，但灼热溫度高过1100度方解石会变为不全透明，因而熔化溫度不可超出800度。
2、不可以和HF触碰，高溫时，非常容易和苛性碱及碱土金属的硫化物功效。
